OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS

Alexander Cortes Soto

OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS

Facultad de Ciencias Naturales y Matemáticas

Resultado de la investigación: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva

Resumen

En este trabajo se crecieron distintas películas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)
por la técnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presión de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las películas se analizó mediante difracción de rayos-X mostrando los máximos de difracción correspondientes a una orientación preferencial en la dirección (00l) para el BLZT. Por microscopía de fuerza atómica se evidenció el crecimiento de películas homogéneas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 Å para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 Å para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterización ferroeléctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvas
de histéresis de polarización- campo eléctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las películas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroeléctrico.

Idioma original	Español (Colombia)
Páginas (desde-hasta)	1114-1117
Número de páginas	4
Publicación	Revista De La Academia Colombiana De Ciencias Exactas, Físicas Y Naturales
Volumen	38
N.º	3
Estado	Publicada - 4 oct 2006

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TY - JOUR

T1 - OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS

AU - Cortes Soto, Alexander

PY - 2006/10/4

Y1 - 2006/10/4

N2 - En este trabajo se crecieron distintas películas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)por la técnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presión de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las películas se analizó mediante difracción de rayos-X mostrando los máximos de difracción correspondientes a una orientación preferencial en la dirección (00l) para el BLZT. Por microscopía de fuerza atómica se evidenció el crecimiento de películas homogéneas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 Å para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 Å para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterización ferroeléctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvasde histéresis de polarización- campo eléctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las películas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroeléctrico.

AB - En este trabajo se crecieron distintas películas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)por la técnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presión de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las películas se analizó mediante difracción de rayos-X mostrando los máximos de difracción correspondientes a una orientación preferencial en la dirección (00l) para el BLZT. Por microscopía de fuerza atómica se evidenció el crecimiento de películas homogéneas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 Å para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 Å para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterización ferroeléctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvasde histéresis de polarización- campo eléctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las películas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroeléctrico.

M3 - Artículo

VL - 38

SP - 1114

EP - 1117

JO - Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Fisicas y Naturales

JF - Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Fisicas y Naturales

SN - 0370-3908

IS - 3

ER -