OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS

Alexander Cortes Soto

OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS

Facultad de Ciencias Naturales y Matemáticas

Resultado de la investigación: Contribución a una revista › Artículo

Resumen

En este trabajo se crecieron distintas películas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)
por la técnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presión de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las películas se analizó mediante difracción de rayos-X mostrando los máximos de difracción correspondientes a una orientación preferencial en la dirección (00l) para el BLZT. Por microscopía de fuerza atómica se evidenció el crecimiento de películas homogéneas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 Å para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 Å para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterización ferroeléctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvas
de histéresis de polarización- campo eléctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las películas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroeléctrico.

Idioma original	Español (Colombia)
Páginas (desde-hasta)	1114-1117
Número de páginas	4
Publicación	Revista De La Academia Colombiana De Ciencias Exactas, Físicas Y Naturales
Volumen	38
N.º	3
Estado	Publicada - 4 oct 2006

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Cortes Soto, A. (2006). OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS. Revista De La Academia Colombiana De Ciencias Exactas, Físicas Y Naturales, 38(3), 1114-1117.

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abstract = "En este trabajo se crecieron distintas pel{\'i}culas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)por la t{\'e}cnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presi{\'o}n de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las pel{\'i}culas se analiz{\'o} mediante difracci{\'o}n de rayos-X mostrando los m{\'a}ximos de difracci{\'o}n correspondientes a una orientaci{\'o}n preferencial en la direcci{\'o}n (00l) para el BLZT. Por microscop{\'i}a de fuerza at{\'o}mica se evidenci{\'o} el crecimiento de pel{\'i}culas homog{\'e}neas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 {\AA} para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 {\AA} para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterizaci{\'o}n ferroel{\'e}ctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvasde hist{\'e}resis de polarizaci{\'o}n- campo el{\'e}ctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las pel{\'i}culas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroel{\'e}ctrico. ",

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TY - JOUR

T1 - OBTENCIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE NUEVAS PELÍCULAS DELGADAS FERROELECTRICAS

AU - Cortes Soto, Alexander

PY - 2006/10/4

Y1 - 2006/10/4

N2 - En este trabajo se crecieron distintas películas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)por la técnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presión de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las películas se analizó mediante difracción de rayos-X mostrando los máximos de difracción correspondientes a una orientación preferencial en la dirección (00l) para el BLZT. Por microscopía de fuerza atómica se evidenció el crecimiento de películas homogéneas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 Å para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 Å para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterización ferroeléctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvasde histéresis de polarización- campo eléctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las películas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroeléctrico.

AB - En este trabajo se crecieron distintas películas delgadas del tipo Ba0.90La0.067Ti0.91Zr0.09O3 (BLZT)por la técnica de magnetron sputtering de radio-frecuencia (RF) a alta presión de O2 con una temperatura de substrato de 600°C. La estructura cristalina de las películas se analizó mediante difracción de rayos-X mostrando los máximos de difracción correspondientes a una orientación preferencial en la dirección (00l) para el BLZT. Por microscopía de fuerza atómica se evidenció el crecimiento de películas homogéneas con un valor de rugosidad promedio de 4.25 Å para el sustrato de SrTiO3.Nb y de 12.3 Å para el sustrato de Pt/TiO2/SiO2/Si. Para la caracterización ferroeléctrica se utilizaron estructuras de capacitor con Ag como electrodo superior y el respectivo substrato como elecrodo inferior. Mediante el sistema de la Radiant Technologies RT66A se obtuvieron curvasde histéresis de polarización- campo eléctrico (P-E) para los distintos capacitores. Los resultados mostraron que las películas delgadas de BLZT presentan un comportamiento ferroeléctrico.

M3 - Artículo

VL - 38

SP - 1114

EP - 1117

JO - Revista De La Academia Colombiana De Ciencias Exactas, Físicas Y Naturales

JF - Revista De La Academia Colombiana De Ciencias Exactas, Físicas Y Naturales

SN - 0370-3908

IS - 3

ER -